- Волога очистка вихлопних газів Скруббер, як і газоочисникам, є найкращими засобами очищення відпрацьованого...
- Витяжка газу для ванн травлення
- Центральний скруббер відпрацьованих газів
Волога очистка вихлопних газів
Скруббер, як і газоочисникам, є найкращими засобами очищення відпрацьованого повітря, як і очищення ОГ і видалення отруйних і сильно пахнуть речовин. У скрубері газ приводиться в інтенсивний контакт з дрібно розподіленими водяними краплями або іншими очисними рідинами, в потоці одного- / зустрічного напрямку, так що це призводить до очищення / відмиванню парової фази. Чим більше площа поверхні між миючої рідиною і очищається газом і чим менше розмір водяних крапель, тим ефективніше очищення. Як правило, що очищає рідина рециркулируют для економії води і зменшення стоку.
За допомогою газоочисника з відпрацьованого газу можуть бути видалені наступні компоненти:
- Водорастворяемая речовини будуть розчинені.
- Пил буде обложена.
- Гідролізіруемие речовини будуть розкладені.
- Водяна пара конденсується.
Результатом мокрого очищення є дезактивація, видалення отрут, видалення пилу, видалення вологи, конденсація, а також видалення речовин з сильним запахом - для захисту навколишнього середовища.
Особливо водяні забруднення дуже добре видаляються з газу. У багатьох випадках, при адсорбції субстанцій з газу промивна рідина може бути забруднена. Розчинені речовини - це зазвичай кислі або лужні хімікалії, як, наприклад, HCl, чадний газ або аміак NH3. За допомогою інтегрованого в очищувач нейтралізатора, можлива підтримка нейтральних pH-величин і таким чином, видалення отрут. Крім того, нізкокіслая промивна рідина для лужних газокомпонентов ефективне, і нізкощелочная промивна рідина дієвіше для кислих газокомпонентов.
Пил буде осідати і при великих кількостях утворює шламм, який повинен бути відфільтрований з стоку. При таких обставинах фільтраційний шламм повинен розглядатися як спецотходи.
Гідролізіруемие речовини розчиняються у воді. При хімічній реакції можуть знову утворюватися водорозчинні речовини, які також повинні бути видалені з газу або тверді компоненти, які збираються у вигляді шламма в стічній ванні і повинні бути відфільтровані і видалені. Так, в області напівпровідників скрубери застосовуються для видалення TEOS (Tetraethoxysilan), TiCl4 чотирихлористого титану або HMDSO (Hexamethyldisiloxan).
Скруббер може комбінуватися з іншими методами очищення відпрацьованих газів. Таким чином, гази промиваються, потім проходять термічну обробку, після чого ще раз промиваються. Це відбувається в наших SBW und SWB-газоочисниках .
Газоочисникам для напівпровідникового технологічного обладнання
SemiAn пропонує скрубери, які розроблені для очищення і видалення відпрацьованих газів з технологічного обладнання, і застосовуються в напівпровідникової промисловості і для виготовлення дисплеїв на рідких кристалах. Відповідно, наші газоочисники виконані приблизно на газопотоків 100 - 1.200 slm, як і 6 - 72 m3 / год. Однак, ми охоче поставляємо очисники цього класу для інших застосувань, - надійно і вигідно.
Витяжка газу для ванн травлення
Спеціальним застосуванням є витяжка газу і газоочищення для кислого або лужного травлення або ванн травлення . Витяжка може проводитися також для ванн расворітелей, що містять водорозчинні речовини, такі як спирт або ацетон. В цьому випадку відпрацьоване повітря містить значно менше кислоти, луги або розчинника. Однак, кількість видобутого газу значно вище. SemiAn може запропонувати скрубери і для таких застосувань, наприклад, модель SSW500.
Центральний скруббер відпрацьованих газів
Для очищення великих обсягів відпрацьованих газів, промислових вихлопних газів або газів від декількох технологічних процесів, інсталюється, як правило, велика промивальне пристрій ззаду будівлі або нагорі - на даху будівлі. На замовлення ми можемо запропонувати також і такі скрубери відпрацьованих газів.
